SSX600系列步進(jìn)掃描投影光刻機(jī)氣動隔振系統(tǒng)性

SSX600系列步進(jìn)掃描投影光刻機(jī)氣動隔振系統(tǒng)塑膠試片工藝性能試驗(1)拉伸實驗氣動隔振系統(tǒng)的抗拉強(qiáng)度的時效性轉(zhuǎn)變那樣,步進(jìn)掃描投影光刻機(jī)氣動隔振系統(tǒng)氣囊的抗拉強(qiáng)度伴隨著使用壽命問的問題的增加大概說明降低的趨勢,應(yīng)用16年以后也發(fā)現(xiàn)了，一些試樣的抗拉強(qiáng)度下降50百分比上下。那樣,抗拉強(qiáng)度減少50百分比之上則可認(rèn)定是顯著的降低。在氣襄工藝性能方面，針對超過本試驗階段的應(yīng)用，要進(jìn)行慎重考慮。

詳細(xì)的分析每個老化趨向時，確定了以下老化特點(diǎn)先,在中間，①面、②面垂直及水平方向強(qiáng)度都有降低,①面降低水準(zhǔn)略大些。步進(jìn)掃描投影光刻機(jī)氣動隔振系統(tǒng)主要原因可以稱作橫著搖晃產(chǎn)生的影響，與此同時也可以稱之為紫外線的危害。進(jìn)而結(jié)論得知，氣囊中間是很容易變形消化振動的主要一部分。

其次,相關(guān)上端,其水不角度的抗拉強(qiáng)度使用4年里，雖然也有一-定初期老化,但應(yīng)用13年~16年以后，①面、②面抗拉強(qiáng)度降低量均比較小。與其相符合，相關(guān).上端垂直方向,其①面、②面抗拉強(qiáng)度的下降量與中間一樣,變形比較大。進(jìn)而結(jié)論得知，上端在設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)中,①面、②面二者都為垂直方向的震動影響很大,而水平方向的震動危害則比較小。相關(guān)下邊,①面抗拉強(qiáng)度的下降,在垂直和水平方向均比較大，而②面無論哪個地方均比較小。那可確定根本原因是下邊橫著搖晃所導(dǎo)致的疲倦要素大因此，步進(jìn)掃描投影光刻機(jī)氣動隔振系統(tǒng)氣囊下邊常采用將零配件迅速地固定在牽引電機(jī)上。由此可以確定,氣囊下邊隨著牽引電機(jī)與機(jī)器的相對震動偏移承受了激烈的運(yùn)動。牽引電機(jī)與機(jī)械設(shè)備間的比較大震動一般是機(jī)器的縱向及橫著(橫著搖晃)運(yùn)動，機(jī)器的縱向受設(shè)備及牽引電機(jī)框架的彎曲剛度所管束，其運(yùn)動獲得限制。另一方面，氣動隔振系統(tǒng)由于運(yùn)行時曲線圖中的搖晃等因素,機(jī)械設(shè)備方位運(yùn)動很容易擴(kuò)大因此可以確定，下邊②面震動負(fù)荷小又下邊①面震動負(fù)荷則比較大。